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HTBC电池的激光开膜工艺
HTBC电池(HeterojunctionBackContact)结合了异质结(HJT)和背接触(BC)技术,其激光开膜工艺是实现电池结构精密加工的核心环节。以下是工艺关键点及优势分析:
工艺步骤与特点
背面钝化层处理
通过激光开膜技术精准去除背面钝化层特定区域的非导电膜,暴露硅基底以实现选择性接触。此步骤需高精度控制激光能量和光斑尺寸,确保钝化层完整性和电性能优化。
栅线区域定义
在异质结结构基础上,激光开膜用于定义背面的P+/N+区域。例如,在TBC电池中,通过两次激光处理分别去除多余掺杂层并固化掩膜,形成交替排列的栅线结构,减少漏电风险。
复合损失控制
激光开膜通过最小化对钝化层的热损伤,降低载流子在界面处的复合损失,提升开路电压(Voc)和填充因子(FF),最终提高光电转换效率。
技术优势
效率提升:激光开膜减少光学遮挡和电学损失,使HBC/TBC电池效率绝对值提升0.3%以上。
兼容性:作为平台型技术,激光工艺可适配HJT、TOPCon等不同技术路线,形成HBC、TBC等高效电池结构。
良率优化:通过精准的图案化处理,避免短路和漏电,提升电池良率及长期稳定性。
行业应用趋势
随着BC类电池产业化加速,激光开膜工艺已成为高效电池制造的“标配”技术。例如,时创能源的TBC电池zhuanli通过激光工艺实现栅线结构优化,进一步推动产业化进程。未来,结合钙钛矿叠层等新技术,激光工艺的应用潜力将进一步释放。