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深圳太阳能板厂家-深圳市迪晟能源技术有限公司,关于光伏发电太阳能电池板生产中普遍采用的扩散方法。
硅太阳能电池板生产所用的源扩散方法主要有以下几种。
涂布源扩散通常又可分简单涂布源扩散和二氧化硅乳胶源涂布扩散两种。
①简单涂布源扩散:是用1~2滴五氧化二磷(P2O5,)或三氧化二硼( B2O3,)在水(或乙醇)中制成稀溶液,预先滴涂于P型或N型硅表面做杂质源,与硅产生反应,生成磷或硼硅玻璃。
沉积在硅表面的杂质元素在扩散温度下向硅内部扩散,从而形成P-N结或N-P结。
②二氧化硅乳胶是一种有机硅氧烷的水解聚合物,它能溶解于乙醇等有机溶剂中,成为有一定黏度的溶液,在100~400C烘烤后,可形成无定形的二氧化硅。二氧化硅乳胶可通过在硅酸乙酯中加水和无水乙醇,经过水解的方法获得,也可以通过将四氯化硅通人醋酸后加乙醇制得。在乳胶中适量溶解五氧化二磷或三氧化一硼等杂质,并经乙醇稀释,就可以得到所需的二氧化硅乳胶源。
液态源扩散有三氯氧磷液态源扩散和硼液态源扩散等方式。它是通过气体携带的方法将杂质带入扩散炉内实现扩散的。
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